SPM Software NIP

---- G. Binnig, H. Rohrer et al, (1981)

材料製造尺寸已由微米、次微米，逐漸發展至奈米級精密處理，高解析表面分析技術為重要關鍵技術之一。

---- D. W. Pohl (1982)

掃描探針顯微術(SPM)具有原子級表面形狀解析度，並可檢測多種奈米級表面特性如力學特性、電性、磁性、熱性等等。

優點為儀器體積小，樣品無需特殊處理，可在任何環境下進行測量；缺點為缺乏成份分析功能。

---- G. Binnig, C. F. Quate, C. Gerber (1986)

Scanning Thermal Microscopy (SThM)

---- C. C. Williams, H. Wickramasinghe (1986)

Electrostatic Force Microscopy (EFM)

---- Y. Martin, D. W. Abraham et al (1988)

---- C. M. Mate et al (1987)

---- Y. Martin, H. K. Wickramasinghe (1987)

Scanning Attractive Force Microscopy or

Noncontact AFM

---- Y. Martin, C. C. Williams et al (1987)

---- C. C. Williams, J. Slinkman et al (1989)

Force Modulation Microscopy (FMM)

---- P. Maivald et al (1991)

當待測樣品(設為 x、y 平面)被掃描時，回饋電路藉著改變掃描器 z 軸電壓而調整樣品高度，使得探針與樣品間的某種交互作用維持定值。

此 z軸高度微調被記錄成為 x、y 的函數，也就是等交互作用表面，通常對應為樣品表面形狀。 (右圖為SPM裝置示意圖) 。