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SPM Software NIP



 材料製造尺寸已由微米、次微米,逐漸發展至奈米級精密處理,高解析表面分析技術為重要關鍵技術之一。

 掃描探針顯微術(SPM)具有原子級表面形狀解析度,並可檢測多種奈米級表面特性如力學特性、電性、磁性、熱性等等。

 優點為儀器體積小,樣品無需特殊處理,可在任何環境下進行測量;缺點為缺乏成份分析功能。

 Scanning Tunneling Microscopy (STM)

---- G. Binnig, H. Rohrer et al, (1981)
 Near-Field Scanning Optical Microscopy
(NSOM or SNOM)
---- D. W. Pohl (1982)
 Atomic Force Microscopy (AFM)
---- G. Binnig, C. F. Quate, C. Gerber (1986)
 Scanning Thermal Microscopy (SThM)
---- C. C. Williams, H. Wickramasinghe (1986)
 Scanning Attractive Force Microscopy or
Noncontact AFM
---- Y. Martin, C. C. Williams et al (1987)
 Magnetic Force Microscopy (MFM)
---- Y. Martin, H. K. Wickramasinghe (1987)

 Friction Force Microscopy (FFM)

---- C. M. Mate et al (1987)

 Electrostatic Force Microscopy (EFM)

---- Y. Martin, D. W. Abraham et al (1988)

 Scanning Capacitance Microscopy (SCM)

---- C. C. Williams, J. Slinkman et al (1989)
 Force Modulation Microscopy (FMM)
---- P. Maivald et al (1991)

光學顯微術(OM)
掃描電子顯微術(SEM)
穿透電子顯微術(TEM)
掃描探針顯微術(SPM)
橫向解析度
200奈米
1奈米
原子級
原子級
縱向解析度
20奈米
10奈米
原子級
成像範圍
1毫米
1毫米
0.1毫米
0.1毫米
成像環境
無限制
真空
真空
無限制
樣品準備
鍍導電膜
手續繁複
成份分析

 當待測樣品(設為 x、y 平面)被掃描時,回饋電路藉著改變掃描器 z 軸電壓而調整樣品高度,使得探針與樣品間的某種交互作用維持定值。

 此 z軸高度微調被記錄成為 x、y 的函數,也就是等交互作用表面,通常對應為樣品表面形狀。 (右圖為SPM裝置示意圖) 。
ĉ
eddie liu,
2010年4月7日 下午12:20
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