材料製造尺寸已由微米、次微米，逐漸發展至奈米級精密處理，高解析表面分析技術為重要關鍵技術之一。

 掃描探針顯微術(SPM)具有原子級表面形狀解析度，並可檢測多種奈米級表面特性如力學特性、電性、磁性、熱性等等。

 優點為儀器體積小，樣品無需特殊處理，可在任何環境下進行測量；缺點為缺乏成份分析功能。