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| 材料製造尺寸已由微米、次微米,逐漸發展至奈米級精密處理,高解析表面分析技術為重要關鍵技術之一。 掃描探針顯微術(SPM)具有原子級表面形狀解析度,並可檢測多種奈米級表面特性如力學特性、電性、磁性、熱性等等。
優點為儀器體積小,樣品無需特殊處理,可在任何環境下進行測量;缺點為缺乏成份分析功能。
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| | 光學顯微術(OM) | 掃描電子顯微術(SEM) | 穿透電子顯微術(TEM) | 掃描探針顯微術(SPM) | 橫向解析度 | 200奈米 | 1奈米 | 原子級 | 原子級 | 縱向解析度 | 20奈米 | 10奈米 | 無 | 原子級 | 成像範圍 | 1毫米 | 1毫米 | 0.1毫米 | 0.1毫米 | 成像環境 | 無限制 | 真空 | 真空 | 無限制 | 樣品準備 | 無 | 鍍導電膜 | 手續繁複 | 無 | 成份分析 | 有 | 有 | 有 | 無 |
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ĉ eddie liu, 2010年4月7日 下午12:20
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